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深度剖析磁敏傳感器技術(shù)原理

2021-11-12 09:22:57
磁傳感器是一種將磁場(chǎng)信息轉(zhuǎn)換成各種有用信號(hào)的裝置。它是各種磁性測(cè)量?jī)x器的核心。為了探測(cè)和利用磁體,人們開(kāi)發(fā)了各種磁性測(cè)量?jī)x器。到目前為止,已經(jīng)形成了十多種常用的磁測(cè)量方法,開(kāi)發(fā)生產(chǎn)了幾十大類上百種磁測(cè)量?jī)x器。
通用磁測(cè)量?jī)x器由磁傳感器、轉(zhuǎn)換器、信號(hào)處理電路和讀出電路組成。儀器的基本性能(如靈敏度、動(dòng)態(tài)范圍和精度)主要由其傳感器決定。信號(hào)處理電路可以提供放大、轉(zhuǎn)換(如F/V、A/D轉(zhuǎn)換)、補(bǔ)償和校正等功能。
隨著磁性材料的發(fā)展,人們利用各種磁性材料作為信息載體,如計(jì)算機(jī)信息存儲(chǔ)、記錄視聽(tīng)信息和各種物體運(yùn)動(dòng)信息,包括位置、位移、速度、轉(zhuǎn)速等。所有這些都可以由磁性材料承載。因此,需要大量各種磁讀取、寫入和感測(cè)設(shè)備。因此,磁傳感器逐漸與磁測(cè)量?jī)x分離,形成獨(dú)立的磁傳感器產(chǎn)品。隨著磁傳感器行業(yè)的快速發(fā)展,可以說(shuō)“任何電腦、汽車、工廠,沒(méi)有磁傳感器都無(wú)法正常工作”。同時(shí),磁傳感器已經(jīng)滲透到人們的日常生活中,許多家用電器廣泛使用磁傳感器。
磁傳感器的應(yīng)用日益擴(kuò)大,其地位越來(lái)越重要。根據(jù)其結(jié)構(gòu),磁傳感器可分為兩類:體式和結(jié)式。前者以霍爾傳感器為代表,后者以磁敏二極管、磁敏晶體管等為代表。它們都是利用半導(dǎo)體材料中載流子隨磁場(chǎng)改變運(yùn)動(dòng)方向的特性制成的磁傳感器。此外,還有基于電磁感應(yīng)原理的磁電傳感器。
霍爾傳感器
霍爾效應(yīng)
當(dāng)靜態(tài)載流導(dǎo)體或半導(dǎo)體置于磁場(chǎng)中的電流方向與磁場(chǎng)的電流方向不一致時(shí),載流導(dǎo)體垂直于電流和磁場(chǎng)方向的兩個(gè)表面之間就會(huì)產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì),這就是霍爾效應(yīng)。這種電動(dòng)勢(shì)被稱為霍爾電勢(shì),載流導(dǎo)體(主要是半導(dǎo)體)被稱為霍爾元件?;魻栃?yīng)是導(dǎo)體中載流子在磁場(chǎng)中洛倫茲磁力作用下橫向漂移的結(jié)果。
如圖使電流I垂直于磁場(chǎng)流過(guò)半導(dǎo)體薄片。假設(shè)載流子是電子(N型半導(dǎo)體材料),它以與電流I相反的方向運(yùn)動(dòng).由于洛倫茲力F1,電子將偏轉(zhuǎn)到一側(cè)(如虛線箭頭所示),電子將聚集在修改側(cè)。而另一側(cè)形成正電荷積累,元件橫向形成電場(chǎng)。電場(chǎng)阻止電子繼續(xù)向側(cè)面移動(dòng)。當(dāng)施加在電子上的電場(chǎng)力fE等于洛倫茲力fL時(shí),電子積累達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡。此時(shí)兩端橫平面之間建立的電場(chǎng)稱為霍爾電場(chǎng)EH,對(duì)應(yīng)的電勢(shì)稱為霍爾電勢(shì)UH。
設(shè)霍爾板的長(zhǎng)度、寬度和厚度分別為L(zhǎng)、B和D。讓電子勻速v運(yùn)動(dòng),在垂直方向施加的磁感應(yīng)強(qiáng)度B的作用下,會(huì)受到洛倫茲力。
因?yàn)樵僖淮?/div>
當(dāng)控制電流或磁場(chǎng)的方向改變時(shí),輸出霍爾電勢(shì)的方向也改變。但當(dāng)磁場(chǎng)和電流同時(shí)改變方向時(shí),霍爾勢(shì)不改變方向。通常,霍爾板上施加的電壓為E。如果霍爾電位中的電流I被改寫為E,計(jì)算將很方便,根據(jù)
從上面的公式可以看出,適當(dāng)選擇霍爾板的材料遷移率()和縱橫比(b/L)可以改變霍爾電位的UH值。
霍爾元件的結(jié)構(gòu)
器件電流(控制電流或輸入電流):流入器件的電流。
電流端子A和B相應(yīng)地稱為設(shè)備電流端子、控制電流端子或in
當(dāng)磁場(chǎng)(B)不變時(shí),通過(guò)測(cè)量某一溫度下的控制電流I和霍爾電位UH,可以得到很好的線性關(guān)系。直線的斜率稱為控制電流靈敏度,用KI表示。
因此,具有高靈敏度KH的元件的控制電流靈敏度KI通常較高。但是敏感成分UH不一定大,因?yàn)閁H也和I有關(guān)。
Uh-b特性
當(dāng)控制電流I保持不變時(shí),元件的開(kāi)路霍爾輸出不完全呈現(xiàn)與磁場(chǎng)增大的線性關(guān)系,而是具有非線性偏差。
誤差分析及補(bǔ)償方法
1.元件幾何尺寸和電極焊點(diǎn)尺寸對(duì)性能的影響
(1)幾何尺寸對(duì)性能的影響
在分析霍爾效應(yīng)的原理時(shí),我們認(rèn)為霍爾板的長(zhǎng)度L為無(wú)窮大。事實(shí)上,霍爾板的長(zhǎng)度是有限的。如果L太小,當(dāng)太小到一定的極限值時(shí),霍爾電場(chǎng)就會(huì)被控制電流極短路。因此,與幾何尺寸相關(guān)的系數(shù)被添加到霍爾勢(shì)的表達(dá)式中。
實(shí)驗(yàn)表明,當(dāng)l/b為2時(shí),形狀因子fH(L/b)接近1。為了提高元器件的靈敏度,可以適當(dāng)提高L/b值,實(shí)際設(shè)計(jì)中取L/b=2就足夠了。
電極焊點(diǎn)尺寸對(duì)性能的影響
霍爾電極的大小對(duì)霍爾電位的輸出也有一定的影響。根據(jù)理想元件的要求,控制電流的電極應(yīng)與霍爾元件表面接觸良好,而霍爾電極與霍爾元件點(diǎn)接觸。實(shí)際上,霍爾電極有一定的寬度L,這對(duì)元件的靈敏度和線性度有很大的影響。研究表明,當(dāng)l/l為0.1時(shí),電極寬度的影響可以忽略。2.不等電位U0及其補(bǔ)償
制作霍爾元件時(shí),不可能保證霍爾電極焊接在同一個(gè)等電位面上。如圖,當(dāng)控制電流I流過(guò)元件時(shí),即使磁感應(yīng)強(qiáng)度等于零,霍爾電極上仍然存在一個(gè)電勢(shì),這稱為不等電勢(shì)U0。不相等的電勢(shì)是零誤差的主要原因。等效電路如圖表明,如果兩個(gè)霍爾電極在同一等電位平面上,r1=r2=r3=r4,則電橋平衡,U0=0。當(dāng)霍爾電極不在同一個(gè)等電位平面上時(shí)如圖2 . 1 . 3),由于r3增加,r4減少,電橋平衡被破壞,使U00。有各種方法可以減少不平等的潛力,達(dá)到補(bǔ)償?shù)哪康摹?/div>
半導(dǎo)體磁阻傳感器
磁阻是一種電阻隨磁場(chǎng)變化而變化的磁敏元件,又稱MR元件。其理論基礎(chǔ)是磁阻效應(yīng)。
磁阻效應(yīng)
磁阻是一種電阻隨磁場(chǎng)變化而變化的磁敏元件,又稱MR元件。其理論基礎(chǔ)是磁阻效應(yīng)。
如果在有電流的金屬片或半導(dǎo)體材料上施加一個(gè)垂直或平行于電流的外磁場(chǎng),其電阻值會(huì)增加。這種現(xiàn)象稱為磁阻變化效應(yīng),簡(jiǎn)稱磁阻效應(yīng)。
在磁場(chǎng)中,電流的流動(dòng)路徑會(huì)因磁場(chǎng)而變長(zhǎng),這將增加材料的電阻率。如果金屬或半導(dǎo)體材料的兩種載流子(電子和空穴)的遷移率差異很大,電阻率的變化主要是由遷移率較高的載流子引起的,可以表示為:
B——為磁感應(yīng)強(qiáng)度;
當(dāng)磁感應(yīng)強(qiáng)度為B時(shí), 3354材料的電阻率;
當(dāng)磁感應(yīng)強(qiáng)度為0時(shí), ——材料的電阻率;
——載流子的遷移率。
當(dāng)材料中只有一種載流子時(shí),磁阻效應(yīng)幾乎可以忽略不計(jì),霍爾效應(yīng)甚至更強(qiáng)。在電子和空穴都存在的材料(如銻化銦)中,磁阻效應(yīng)非常強(qiáng)。磁阻效應(yīng)也與樣品的形狀和大小密切相關(guān)。這種與樣品形狀和大小有關(guān)的磁阻效應(yīng)稱為磁阻效應(yīng)的幾何磁阻效應(yīng)。矩形磁阻器件只有在L(長(zhǎng))w(寬)的條件下才表現(xiàn)出較高的靈敏度。L“W”的扁平器件串聯(lián),可以得到零磁場(chǎng)電阻更大、靈敏度更高的磁阻器件。
圖(a)顯示了沒(méi)有柵極的情況,電流僅在電極附近偏轉(zhuǎn),電阻幾乎沒(méi)有增加。在L-W矩形磁阻材料上制作許多等間距的平行金屬條(短路柵),以短路霍爾電位。如如圖2 . 2 . 1(b)所示,這種網(wǎng)格磁阻器件相當(dāng)于許多扁平條形磁阻器的串聯(lián)。因此,柵極磁阻器件不僅增加了零磁場(chǎng)電阻值,而且提高了磁阻器件的靈敏度。常用的磁阻元件包括半導(dǎo)體磁阻元件和強(qiáng)磁磁阻元件。其內(nèi)部可做成半橋或全橋等形式。
磁阻元件
矩形磁阻元件;
物理磁阻效應(yīng)和幾何磁阻效應(yīng)并存。
弱場(chǎng)中的磁阻比
柵極磁阻高靈敏度電阻
g’是子元素的形狀系數(shù)。如果g  '增強(qiáng)很多,msn會(huì)增加,RBn會(huì)增加。
鈷元素
結(jié)構(gòu)形式
圓盤元件;
外圓的中心和外圍設(shè)有電流電極。
原則:
電流在兩個(gè)電極之間流動(dòng);
載體的運(yùn)動(dòng)路徑由于磁場(chǎng)而彎曲;
阻力增加
磁阻特性
敏感
磁阻元件的靈敏度特性用一定磁場(chǎng)強(qiáng)度下的電阻變化率表示,即磁場(chǎng)——的電阻特性的斜率。常用k,單位為毫伏/毫安千克,即。公斤.計(jì)算中常用RB/R0。R0表示不存在磁場(chǎng)時(shí)磁阻元件的電阻值,RB表示磁感應(yīng)強(qiáng)度為0.3T時(shí)磁阻元件的電阻值為app
從圖中可以看出,它與磁阻元件的曲線相反,即隨著磁場(chǎng)的增大,電阻值減小。并且在磁通密度達(dá)到幾十到幾百高斯時(shí)達(dá)到飽和。一般來(lái)說(shuō),電阻會(huì)變化百分之幾。
電阻——的溫度特性
從圖中可以看出,半導(dǎo)體磁阻元件的溫度特性不好。圖中電阻值在35范圍內(nèi)下降1/2。因此,在應(yīng)用中,一般需要設(shè)計(jì)溫度補(bǔ)償電路。
電阻——強(qiáng)磁阻元件的溫度特性曲線;
圖中分別顯示了恒流和恒壓電源的溫度特性。恒流電源可以獲得500 ppm/的良好溫度特性,而恒壓電源的溫度特性高達(dá)3500ppm/。然而,因?yàn)镚MR元件在開(kāi)關(guān)模式下工作,所以通常使用恒壓模式。
結(jié)磁傳感器
磁敏二極管
結(jié)構(gòu)
結(jié)型磁傳感器是PIN二極管的一種,可稱為兩端高摻雜P、N區(qū)的結(jié)型二端器件(也稱索尼二極管SMD)。較長(zhǎng)的本征區(qū)I稱為長(zhǎng)基區(qū)二極管,I的一側(cè)接地平滑;另一方面,高復(fù)合區(qū)(稱為R區(qū))是通過(guò)擴(kuò)散雜質(zhì)或噴砂制成的,這使得電子-空穴對(duì)容易在粗糙表面復(fù)合并消失。當(dāng)施加正偏壓時(shí),p  -I結(jié)向本征區(qū)I注入空穴,n  -I結(jié)向本征區(qū)I注入電子,也稱為雙注入長(zhǎng)二極管。操作原理
圖(a)在沒(méi)有磁場(chǎng)的情況下,大量空穴以正偏壓從P區(qū)通過(guò)I進(jìn)入N區(qū),大量電子從N區(qū)通過(guò)I進(jìn)入P區(qū),形成電流。I區(qū)只有少量的電子和空穴重新結(jié)合。
圖(B)當(dāng)受到磁場(chǎng)B(正向)作用時(shí),電子和空穴被FL偏轉(zhuǎn)到R區(qū)。R區(qū)的復(fù)合使I區(qū)的電流減小,電阻增大,I區(qū)的壓降增大,n  -I結(jié)和p  -I結(jié)上的壓降減小,使得注入的載流子再次減少,直到正向電流減小到某一穩(wěn)定值。
圖(c)當(dāng)施加磁場(chǎng)B-(反向)時(shí),n  -I和p  -I結(jié)處的電壓降增加,這增加了注入的載流子,并進(jìn)一步增加電流,直到電流達(dá)到飽和。
在直流電壓下,施加正向磁場(chǎng)和反向磁場(chǎng)時(shí)PIN管的正向電流變化較大,不同磁場(chǎng)下電流變化不同。
磁敏二極管的主要特性
1、伏安特性——正向偏壓與電流的關(guān)系
鍺磁敏二極管的伏安特性曲線表明,當(dāng)磁場(chǎng)為正時(shí),輸出電壓恒定,電流隨磁場(chǎng)的增大而減小。當(dāng)磁場(chǎng)為負(fù)時(shí),電流隨著負(fù)方向磁場(chǎng)的增大而增大;相同磁場(chǎng)中電壓越大,輸出電流變化越大。
圖(b,c)顯示了硅磁敏二極管的伏安特性。圖(c)具有負(fù)阻特性,即電流急劇增加,偏置電壓突然下降;由于高電阻I區(qū)的熱平衡中載流子較少,注入I區(qū)的載流子在復(fù)合中心被填充前不會(huì)產(chǎn)生大電流,只有在復(fù)合中心被填充后電流才會(huì)急劇增加,而I區(qū)的壓降會(huì)降低,呈現(xiàn)負(fù)阻特性。
2.磁電特性
給定條件下磁敏二極管輸出電壓變化與外加B的關(guān)系。通常有單用和互補(bǔ)兩種使用方式。單獨(dú)使用時(shí),正向磁靈敏度大于反向磁靈敏度?;パa(bǔ)時(shí),正反磁靈敏度曲線對(duì)稱,在弱磁場(chǎng)下具有良好的線性。
一次性使用時(shí)間
使用中的互補(bǔ)性
3.溫度特性
在標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試條件下,輸出電壓變化 u隨時(shí)間變化.
4.四個(gè)公共補(bǔ)償電路
互補(bǔ)溫度補(bǔ)償電路圖(A);差分溫度補(bǔ)償電路圖(B);全橋溫度補(bǔ)償電路圖(C);熱敏電阻溫度補(bǔ)償電路圖(d)。
磁敏三極管
結(jié)構(gòu)
e,發(fā)射極,基極b和集電極c;在發(fā)射極和長(zhǎng)基極區(qū)的一側(cè)形成高復(fù)合區(qū)r。
操作原理
分析磁場(chǎng)強(qiáng)度B變化時(shí)基極電流Ib、集電極電流Ic和電流放大系數(shù)的變化。
圖(a):當(dāng)b=0時(shí),由于基區(qū)寬度大于載流子有效擴(kuò)散長(zhǎng)度,注入發(fā)射極區(qū)的少數(shù)載流子輸入C,大部分通過(guò)e-p-b形成Ib,Ib”Ic,電流放大系數(shù)為 1。
圖(b):施加正磁場(chǎng)(b)時(shí),載流子被FL偏轉(zhuǎn)到發(fā)射區(qū)一側(cè),使ic明顯下降,同時(shí)基極復(fù)合增加,Ib增加較小,電流放大系數(shù)減小。
圖(c):當(dāng)施加反向磁場(chǎng)(B-)時(shí),載流子被FL偏轉(zhuǎn)到集電極側(cè),這使得ic增加,基極復(fù)合減少,增加,IB幾乎不變。
磁敏三極管的主要特性
1、伏安特性
2.磁電特性
當(dāng)磁場(chǎng)較弱時(shí),ic和B的關(guān)系是線性的。
3.溫度特性
3ACM  3BCM磁敏溫度系數(shù)為0.8%∕.
3厘米磁敏的溫度系數(shù)是-0.6%∕.
4.頻率特性
交變磁場(chǎng)
3BCM響應(yīng)t=2us截止頻率500KHz
3cm響應(yīng)t=4us截止頻率2.5MHz
新型磁傳感器
高分辨率磁性旋轉(zhuǎn)編碼器
有兩種編碼方法:絕對(duì)式和增量式。
絕對(duì)
磁鼓:在鋁合金主軸上涂上一層磁介質(zhì)(-Fe2O3),并磁化成偶數(shù)個(gè)磁極,長(zhǎng)度為。
磁阻頭:在玻璃基板上鍍一層Ni81Fe19合金薄膜,有10個(gè)磁阻元件用于檢測(cè)增量信號(hào),4個(gè)磁阻元件用于零通道信號(hào)檢測(cè)。
磁鼓旋轉(zhuǎn)時(shí),磁場(chǎng)周期性變化,磁阻也周期性變化,每個(gè)磁場(chǎng)周期對(duì)應(yīng)兩個(gè)磁阻變化周期,具有倍頻特性。

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